在無定形碳支撐膜1上配置了WO3粒子等的鎢氧化物粒子2，在高真空氣氛下用強度在1023－1024e／cm2·sec范圍的電子束3輻照此鎢氧化物粒子2。由于有這樣強度的電子束3的輻照，生成了粒徑在例如10nm以下的鎢超微粒子4。鎢超微粒子4是由從鎢氧化物粒子2脫離出來的鎢所構成。
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